Reliability Science and Technology  
Zuverlässigkeit/Sicherheit
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Dienstleistungen / Userlab

Mikro- / Nanotechnologie
Allgemein

Die Abteilung entwickelt, fabriziert und charakterisiert Materialien und Strukturen für  die Elektronik, Photonik und Sensorik. Die Mikro- und Nanostrukturierung erfolgt mit Focused Ion Beam  (FIB) und Picosekundenlaserablation. Lithographische Verfahren werden dabei miteinbezogen. Zur Verbesserung der Effizienz und der Reproduzierbarkeit bei der Herstellung komplexer Strukturen werden Ionensputtering und Ablationstechnologie experimentell und durch Modellierung und Monte Carlo Simulationen der grundlegenden physikalischen Prozesse weiterentwickelt.

Neben Forschung und Entwicklung erbringen wir für unsere Kunden aus Industrie und Verwaltung anspruchsvolle, wirtschaftlich und gesellschaftlich wichtige Dienstleistungen im Fachgebiet. Die Erkenntnisse fliessen in Lehre und Wissensvermittlung ein, z.B. in ETH-Vorlesungen, Nachdiplomlehrgängen, Workshops, Kurse, den Pool für Industriefirmen aber auch in die Physiklaboranten-Lehrlingsausbildung.

Verfahren
  • Strukturierung, Modifikation und Herstellung von Mikro- und Nanostrukturierung wie zum Beispiel Halbleiterchips, photonische Kristalle, Metamaterialien
  • Probenherstellung, insbesondere TEM – Lamellenpräparation
  • Multi Slicing mit 3D-Bildverarbeitung (tomographische Rekonstruktion, Segmentierung, Visualisierung)
  • Struktur- Material- und Elementanalysen
  • Simulation von Ablationsprozessen mit Ionenstrahlen
Ausrüstung
  • Mono und Dual Beam FIB (Focused Ion Beam)
  • Rasterelektronenmikroskop (REM)
  • Laserablation, ps-Laser, 355 nm
  • Lichtmikroskope
Forschungsprojekte
  • Herstellung photonischer Elemente
  • Double passage SNOM
  • Elektromigration von Cu-Interconnects
Ansprechpersonen

Rolf Brönnimann
Tel  +41 58 765 48 82, Fax +41 58 765 40 54
rolf.broennimann@empa.ch

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